JC/T 2133-2012 半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法 清晰版

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文件大小: 2.61 MB
语言版本: 简体中文
标准类别: 建材 JC
关键词: 抛光   耦合   杂质   半导体   测定

标准简介

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适用范围:本文件提供了半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法 清晰版的标准化实施规范,为建材 JC的技术评价与质量认证提供依据。

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