JC/T 2243-2014 等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管

文件格式： PDF文档
文件大小： 1.37 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 建材 JC
关键词： 沉积   化学   工艺   增强   等离子体
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标准简介

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适用范围：本文件涵盖了等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管的主要技术规定，为建材 JC的技术管理工作提供统一依据。

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