JC/T 2133-2012 半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法

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语言版本：简体中文

标准类别：建材 JC

关键词：抛光耦合杂质半导体测定

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标准简介

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适用范围：本标准针对半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法制定了统一的技术规范，适用于建材 JC的设计、制造与检验工作。

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