JB/T 4081-1991 溅射离子泵 型式与基本参数

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文件大小： 46.23 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 机械
关键词： 离子   型式   基本参数   JB   4081
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标准简介

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适用范围：本文件明确了溅射离子泵 型式与基本参数的相关管理规定与技术要求，为机械的标准化工作提供技术支撑。

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