DIN EN 62374-2008 半导体器件与时间有关的栅极介电薄膜的介质击穿(TDDB)试验

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标准类别：国外标准

关键词：薄膜试验栅极半导体器件有关

标准简介

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适用范围：本文件提供了DIN EN 62374-2008 半导体器件与时间有关的栅极介电薄膜的介质击穿(TDDB)试验的快速检测方法与便携仪器应用规范，提升检测技术检测效率。