DIN 50448-1998 半导体工艺材料的检验用电容试探器无接触测量半绝缘半导体圆片

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标准类别：国外标准

关键词：绝缘试探半导体测量工艺

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标准简介

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适用范围：本文件规定了半导体工艺材料的检验用电容试探器无接触测量半绝缘半导体圆片的生产标准与质量检测规范，适用于产品制造的设计、制造与出厂检验。

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