ASTM F2113-01e1 薄膜电子设备用高纯度金属溅涂靶杂质含量和等级的分析和报告标准指南

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语言版本：英文版

标准类别：国外标准

关键词：纯度备用杂质薄膜指南

标准简介

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适用范围：本标准针对ASTM F2113-01e1 薄膜电子设备用高纯度金属溅涂靶杂质含量和等级的分析和报告标准指南提出了原材料与加工工艺的技术指标，提升产品制造产品质量。