ASTM F1709-97(2002) 电子薄膜用的高纯度钛溅射靶的技术规范

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语言版本： 英文版
标准类别： 国外标准
关键词： 纯度   薄膜   电子   技术规范   ASTM
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标准简介

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适用范围：本文件提供了ASTM F1709-97(2002) 电子薄膜用的高纯度钛溅射靶的技术规范的实施指南与技术支撑，适用于服务管理的行业规范化建设。

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