ASTM F1467-99(2005) 微电子装置的电离辐射效应试验中X射线测试仪(近似等于10keV辐射量子)的使用

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标准类别：国外标准

关键词：微电子近似射线装置辐射

标准简介

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适用范围：本标准针对ASTM F1467-99(2005) 微电子装置的电离辐射效应试验中X射线测试仪(近似等于10keV辐射量子)的使用提出了仪器设备与操作步骤的技术要求，确保检测技术检测结果准确可靠。