ASTM F1438-93(2005) 用扫描隧道显微术法测定气体分配系统元件的表面粗糙度的测试方法

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语言版本： 英文版
标准类别： 国外标准
关键词： 元件   扫描   粗糙   测定   隧道
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标准简介

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适用范围：本标准涵盖了ASTM F1438-93(2005) 用扫描隧道显微术法测定气体分配系统元件的表面粗糙度的测试方法的主要技术内容，是检测技术领域的重要参考文件。

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