ASTM F1238-95(2003) 微电子设备用耐熔硅化物溅射电极

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语言版本： 英文版
标准类别： 国外标准
关键词： 电极   微电子   备用   ASTM   F1238
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标准简介

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适用范围：本标准针对ASTM F1238-95(2003) 微电子设备用耐熔硅化物溅射电极提出了原材料与加工工艺的技术指标，提升产品制造产品质量。

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