JIS C5630-6-2011 マイクロマシン及びMEMS-第6部:薄膜材料の軸荷重疲労試験方法

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语言版本: 日文版
标准类别: 国外标准
关键词: 薄膜   荷重   材料   方法   JIS

标准简介

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