GB/T 26113-2010 微机电系统(MEMS)技术微几何量评定总则

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文件大小： 237.54 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 总则   微机   几何   评定   系统
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标准简介

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适用范围：本标准对微机电系统(MEMS)技术微几何量评定总则的仲裁检验与能力验证作出了规定，为检测技术的质量保证提供依据。

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