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GB/T 31469-2015 半导体材料切削液

GB/T 31469-2015 半导体材料切削液

资料大小: 286.73 KB
文档格式: PDF文档
资料语言: 简体中文
发布日期: 2015-05-15
实施日期: 2016-01-01
标准状态: 现行有效
更新日期: 2019-10-15

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简介
GB∕T 31469-2015 半导体材料切削液
本标准规定了半导体材料切削液的各项技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、储存及运输等要求。本标准适用于半导体材料线切割加工采用的切削液。
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