GB/T 14146-2009 硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法

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文件大小： 153.54 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 探针   电容   电压   浓度   测定
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标准简介

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适用范围：本文件涵盖了硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法的技术规范与实施指南，为国家标准的质量管理与技术监督提供保障。

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