GB/T 14141-2009 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法

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文件大小： 703 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 探针   电阻   离子   测定   注入
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标准简介

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适用范围：本标准确立了硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法应遵循的技术准则，适用于国家标准的技术服务体系建设。

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