GB/T 14140-2009 硅片直径测量方法

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文件大小： 732.66 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 硅片   直径   测量方法   GB   14140
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标准简介

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适用范围：本文件提供了硅片直径测量方法的快速检测方法与便携仪器应用规范，提升检测技术检测效率。

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