GB/T 13388-2009 硅片参考面结晶学取向X射线测试方法

文件格式： PDF文档
文件大小： 4.33 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 硅片   射线   取向   参考   测试
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标准简介

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适用范围：本文件规定了硅片参考面结晶学取向X射线测试方法的检测方法标准与试验规范，适用于检测技术的实验室分析与现场检测。

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