GB/T 6617-2009 硅片电阻率测定 扩展电阻探针法

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文件大小： 740.19 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 硅片   探针   电阻   测定   扩展
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标准简介

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适用范围：本文件涵盖了硅片电阻率测定 扩展电阻探针法的主要技术规定，适用于国家标准的技术策划与组织管理。

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