GB/T 6616-2009 半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测试方法非接触涡流法

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语言版本：简体中文

标准类别：国家标准

关键词：硅片涡流薄膜电阻半导体

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标准简介

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适用范围：本标准对半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测试方法非接触涡流法的仲裁检验与能力验证作出了规定，为检测技术的质量保证提供依据。

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