GB/T 17866-1999 掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则

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语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 灵敏度   特制   缺陷   准则   评估
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标准简介

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适用范围：本标准涵盖了掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则的主要技术内容，是检测技术领域的重要参考文件。

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