GB/T 16879-1997 掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则

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文件大小： 212.95 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 精密度   曝光   准则   准确度   系统
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标准简介

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适用范围：本标准规定了掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则的基本技术要求，为国家标准的技术管理提供系统性的规范支撑。

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