GB/T 16524-1996 光掩模对准标记规范

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文件大小： 207.91 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 标记   对准   规范   GB   16524
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标准简介

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适用范围：本标准对光掩模对准标记规范的技术活动提出了规范性要求，为服务管理提供全面的技术指导。

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