GB/T 15909-1995 电子工业用气体 硅烷(SiH@4)

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文件大小： 291.35 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 气体   硅烷   电子工业   GB   15909
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标准简介

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适用范围：本标准确立了电子工业用气体 硅烷(SiH@4)的技术原则，适用于国家标准的技术咨询与技术服务。

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