GB/T 15861-1995 离子束蚀刻机通用技术条件

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文件大小： 294.95 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 蚀刻   通用   离子束   技术   条件
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标准简介

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适用范围：本文件明确了离子束蚀刻机通用技术条件的相关管理规定与技术要求，适用于国家标准的技术服务体系建设。

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