GB/T 14146-1993 硅外延层载流子浓度测定和探针电容--电压法

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文件大小： 131.32 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 探针   电容   电压   浓度   测定
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标准简介

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适用范围：本文件确立了硅外延层载流子浓度测定和探针电容--电压法的技术规范体系，为国家标准的行业管理提供技术依据。

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