GB/T 14145-1993 硅外延层堆垛层错密度测定干涉相衬显微镜法

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文件大小： 90.22 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 显微镜   干涉   堆垛   外延   GB
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标准简介

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适用范围：本文件明确了硅外延层堆垛层错密度测定干涉相衬显微镜法的相关管理规定与技术要求，适用于国家标准的规划设计与施工验收。

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