GB/T 14142-1993 硅外延层晶体完整性检查方法 腐蚀法

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文件大小： 145.33 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 腐蚀   晶体   外延   检查   完整性
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标准简介

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适用范围：本标准涵盖了硅外延层晶体完整性检查方法 腐蚀法的主要技术内容，是检测技术领域的重要参考文件。

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