GB/T 14141-1993 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定

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文件大小： 155.05 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 电阻   离子   测定   注入   扩散
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标准简介

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适用范围：本文件规定了硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定的基本技术准则，为国家标准的质量管理与技术监督提供保障。

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