GB/T 14140.1-1993 硅片直径测量方法 光学投影法

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文件大小： 86.1 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 硅片   投影   直径   光学   测量方法
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标准简介

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适用范围：本文件规定了GB/T 14140.1-1993 硅片直径测量方法 光学投影法的检测方法标准与试验规范，适用于检测技术的实验室分析与现场检测。

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