GB/T 13389-1992 掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程

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文件大小： 787.3 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 换算   掺杂   规程   浓度   电阻率
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标准简介

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适用范围：本标准针对掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程提出了具体的技术指标与操作规程，为服务管理提供技术依据。

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