GB/T 13388-1992 硅片参考面结晶学取向X射线测量方法

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文件大小： 121.2 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 硅片   射线   取向   参考   结晶学
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标准简介

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适用范围：本文件明确了硅片参考面结晶学取向X射线测量方法的方法验证与不确定度评定要求，适用于检测技术的质量控制。

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