【清晰版】 GB/T 43894.1-2024 半导体晶片近边缘几何形态评价 第1部分：高度径向二阶导数法(ZDD)

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语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 晶片   半导体   几何   边缘   形态
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标准简介

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适用范围：本标准针对【清晰版】 GB/T 43894.1-2024 半导体晶片近边缘几何形态评价 第1部分：高度径向二阶导数法(ZDD)提出了具体的技术指标与操作规程，为服务管理提供技术依据。

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