GB/T 42158-2023 微机电系统(MEMS)技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法

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语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 微机   描述   棱锥   沟槽   系统
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标准简介

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适用范围：本标准对微机电系统(MEMS)技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法的仲裁检验与能力验证作出了规定，为检测技术的质量保证提供依据。

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