GB/T 24578-2024 半导体晶片表面金属沾污的测定 全反射X射线荧光光谱法

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文件大小： 7.17 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 晶片   荧光   光谱   半导体   射线
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标准简介

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适用范围：本标准针对半导体晶片表面金属沾污的测定 全反射X射线荧光光谱法提出了环境质量指标与污染防治要求，为环境保护提供技术依据。

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