GB/T 19444-2004 硅片氧沉淀特性的测定-间隙氧含量减少法

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语言版本：简体中文

标准类别：国家标准

关键词：硅片间隙沉淀测定特性

标准简介

GB/T 19444-2004 硅片氧沉淀特性的测定-间隙氧含量减少法本标准规定了由测量硅片间隙氧含量的减少量来检验硅片氧沉淀特性的方法原理、取样规则、热处理程序、试验步骤、数据计算等内容。本标准用于定性比较两批或多批集成电路用硅片间隙氧沉淀特性。