GB/T 18867-2002 电子工业用气体六氟化硫

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语言版本：简体中文

标准类别：国家标准

关键词：气体电子工业六氟化硫 GB 18867

标准简介

GB/T 18867-2002 电子工业用气体六氟化硫本标准规定了电子下业用气体六氟化硫产品的技术要求、分析方法、检验规则以及包装,标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于硫与氟反应生成并经精制和纯化制备的高纯度六氟化硫。该产品主要用作等离子蚀刻剂、掺杂剂、电子元器件的外延气或稀释载气等。