GB/T 18682-2002 物理气相沉积Tin薄膜技术条件

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语言版本：简体中文

标准类别：国家标准

关键词：薄膜沉积物理技术条件

标准简介

GB/T 18682-2002 物理气相沉积Tin薄膜技术条件本标准规定了物理气相沉积TiN薄膜的技术要求。本标准适用于物理气相沉积TiN薄膜,也适用于其他方法制备的TiN薄膜。本标准也适用于其他材料沉积层(TiC,TiCN,TiAIN等)。