GB/T 6616-2023 半导体晶片电阻率及半导体薄膜薄层电阻的测试 非接触涡流法

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语言版本: 简体中文
标准类别: 国家标准
关键词: 晶片   涡流   薄膜   电阻   半导体

标准简介

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适用范围:本标准对半导体晶片电阻率及半导体薄膜薄层电阻的测试 非接触涡流法的仲裁检验与能力验证作出了规定,为检测技术的质量保证提供依据。

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