GB/T 26111-2023 微机电系统（MEMS）技术 术语

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文件大小： 7.42 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 术语   微机   系统   技术   GB
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标准简介

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适用范围：本文件确立了微机电系统（MEMS）技术 术语的技术框架，适用于国家标准的技术审评与合规检查。

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