GB/T 42709.5-2023 半导体器件 微电子机械器件 第5部分：射频MEMS开关

文件格式： PDF文档
文件大小： 4.52 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 射频   微电子   器件   开关   机械
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标准简介

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适用范围：本标准针对GB/T 42709.5-2023 半导体器件 微电子机械器件 第5部分：射频MEMS开关制定了系统的技术方案，适用于国家标准的设计、制造与检验工作。

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