GB/T 6616-2023 正式版半导体晶片电阻率及半导体薄膜薄层电阻的测试非接触涡流法

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语言版本：简体中文

标准类别：国家标准

关键词：晶片涡流薄膜电阻半导体

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标准简介

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适用范围：本标准针对正式版半导体晶片电阻率及半导体薄膜薄层电阻的测试非接触涡流法提出了仪器设备与操作步骤的技术要求，确保检测技术检测结果准确可靠。

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