GB/T 42897-2023 正式版 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法

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文件大小： 1.59 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 厚度   微机   纳米   试验   抗拉强度
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标准简介

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适用范围：本文件提供了正式版 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法的快速检测方法与便携仪器应用规范，提升检测技术检测效率。

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