GB/T 42895-2023 正式版 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法

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文件大小： 2.03 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 弯曲   微机   强度   试验   微结构
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标准简介

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适用范围：本文件明确了正式版 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法的方法验证与不确定度评定要求，适用于检测技术的质量控制。

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