GB/T 10067.417-2023 正式版 电热和电磁处理装置基本技术条件 第417部分：碳化硅单晶生长装置

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文件大小： 1.87 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 热和   电磁   装置   生长   碳化硅
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标准简介

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适用范围：本标准确立了GB/T 10067.417-2023 正式版 电热和电磁处理装置基本技术条件 第417部分：碳化硅单晶生长装置应遵循的技术准则，为国家标准的工程项目提供技术依据。

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