GB/T 24582-2023 多晶硅表面金属杂质含量测定酸浸取-电感耦合等离子体质谱法

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语言版本：简体中文

标准类别：国家标准

关键词：耦合杂质体质测定金属

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标准简介

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适用范围：本文件提出了多晶硅表面金属杂质含量测定酸浸取-电感耦合等离子体质谱法的具体技术措施，适用于国家标准的工艺优化与质量控制。

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