GB/T 42902-2023 碳化硅外延片表面缺陷的测试激光散射法

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语言版本：简体中文

标准类别：国家标准

关键词：散射激光缺陷测试表面

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标准简介

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适用范围：本标准针对碳化硅外延片表面缺陷的测试激光散射法提出了仪器设备与操作步骤的技术要求，确保检测技术检测结果准确可靠。

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