GB/T 42897-2023 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法

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语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 厚度   微机   纳米   试验   抗拉强度
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标准简介

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适用范围：本标准对微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法的仲裁检验与能力验证作出了规定，为检测技术的质量保证提供依据。

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