GB/T 10067.417-2023 电热和电磁处理装置基本技术条件 第417部分：碳化硅单晶生长装置

文件格式： PDF文档
文件大小： 5.14 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 热和   电磁   装置   生长   碳化硅
进入标准下载页面

标准简介

说明：本站提供 GB/T 10067.417-2023 电热和电磁处理装置基本技术条件 第417部分：碳化硅单晶生长装置 的PDF全文下载。

适用范围：本文件明确了GB/T 10067.417-2023 电热和电磁处理装置基本技术条件 第417部分：碳化硅单晶生长装置应满足的技术条件，为国家标准的技术进步提供规范性的指导。

相关推荐