GB/T 25915.13-2022 洁净室及相关受控环境 第13部分:达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁

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文件大小: 11.3 MB
语言版本: 简体中文
标准类别: 国家标准
关键词: 洁净   粒子   清洁   化学   表面

标准简介

说明:本站提供 GB/T 25915.13-2022 洁净室及相关受控环境 第13部分:达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁 的PDF全文下载。

适用范围:本文件规定了GB/T 25915.13-2022 洁净室及相关受控环境 第13部分:达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁的环保技术要求与管理规范,适用于环境保护的污染治理、生态保护与监测。

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